簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Chao-Chang Chen".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="單晶氧化鋁晶圓"


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    複線式電泳反應式鑽石線鋸加工製程於單晶氧化鋁基板之研究
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 李奕德 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶藍寶石(Sapphire)是一種高透光性、耐高溫且高硬度的化合物半導體材料,然而也因單晶藍寶石之高硬度和化學穩定性,目前此類晶圓基板的生產大多以鑽石線鋸(Diamond Wire Sawing,…
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